CZ-Siliziumwafer
Hochwertiger Wafer für die Halbleiterindustrie
Material: Czochralski-gewachsener Siliziumkristall – CZ Si
Prozess: Schneiden und einseitiges Polieren oder doppelseitiges Polieren
Abmessungen: von Durchmesser 1″ bis 12″ (25,4 mm bis 304,8 mm)
Dicke: 25 µm bis 1 mm
Form: rund mit flachem Schnitt. Kann individuell gewürfelt werden.
Typen: P-Typ, N-Typ, halbisolierend
Oberflächenqualität: Ra besser als 0,2 nm
Oberflächenbeschichtung: Nitridfilm, Oxidfilm oder Metallbeschichtung (Au, Ag, Pr, Cu, Ti, Ni..)
Ausrichtung: <100>, <111>, <110>
Spezifischer Widerstand: 1,5 mOhm.cm bis 300 Ohm.cm
Verwendung: Halbleiterindustrie