Siliziumsubstrat
2-Zoll-Siliziumwafer (5 mm dick)
Teildetails
Material:
Nicht dotiertes Silizium
Orientierung: 100°
Herstellungsprozess:
Kristallzüchtung, Schneiden, Polieren (einseitig)
Abmessungen:
Durchmesser: 50,8 mm ± 0,1 mm, Dicke: 5 mm ± 0,1 mm
Spezifikationen:
TTV besser als 10 µm
Wölbung unter 30 µm
Oberflächenqualität: 60/40 s&d
Form:
Flache Scheibe mit plan geschliffenem Rand
Optische Behandlung:
Keine
Verwendung:
Substrat für Forschungsanwendungen. Sehr gute Transmission im SWIR- und MID-IR-Spektrum.





